-
Keramik varahlutir fyrir hálfleiðara mælibúnað
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
Keramikplata hálfleiðara búnaðarflutningsaðili
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
Varahlutir úr keramik fyrir hálfleiðarabúnað
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
Háhreinleiki áloxíð keramikþéttihringur fyrir háhitahólfþéttingu
Keramikþéttihringur frá St.Cera er hannaður sem valkostur við fjölliðu O-hringi í öfgafullu umhverfi þar sem teygjuefni brotna niður. Þessi stífi þéttihringur er framleiddur úr 99,8% hágæða áloxíði (Al₂O₃) og er notaður í kyrrstöðuþéttiforritum - venjulega paraður við mjúkan málm- eða grafítþéttingu - til að veita áreiðanlega lofttæmingu eða gasþéttingu við hitastig allt að 800°C og í árásargjarnu plasma- eða efnaumhverfi. Efnið býður upp á enga útgufun, mikinn þjöppunarstyrk (undirliggjandi beygjustyrkur 361 MPa) og efnafræðilega óvirkni (þolinn gegn halógenum, sýrum og basum nema HF). Nákvæmlega slípaðir þéttifletir (flatleiki ≤5 μm, yfirborðsgrófleiki Ra ≤0,2 μm) tryggja lekaþéttingu við samsvarandi málm- eða keramikhluta.
-
Fókushringur úr hreinu áloxíði fyrir plasmaets- og CVD-kerfi
Fókushringur St.Cera í hólfinu er mikilvægur íhlutur í vinnslubúnaði sem notaður er í plasmaetsun, CVD og PVD hálfleiðarabúnaði. Hringurinn er framleiddur úr 99,8% hreinu áloxíði (Al₂O₃) og umlykur brún skífunnar til að halda plasma inni og hámarka jónadreifingu, sem bætir þannig etsunarjafnvægi yfir yfirborð skífunnar. Efnið býður upp á einstaka plasmaþol, mikinn rafsvörunarstyrk (15×10⁶ V/m) og hitastöðugleika allt að 1600°C, sem tryggir langtímaáreiðanleika í árásargjarnu flúor- eða klórbundnu plasmaumhverfi. Nákvæm slípun á innri og ytri þrýstingi og flatnæmi (≤10 μm) gerir kleift að staðsetja brúnir skífunnar nákvæmlega, draga úr brúnargöllum og agnamyndun.
-
Háhreinleiki áloxíðs keramikhringur fyrir CVD / PVD vinnsluklefa
Keramikhringurinn frá St.Cera er sérstaklega hannaður til notkunar í CVD (Chemical Vapor Deposition) og PVD (Physical Vapor Deposition) vinnsluklefum. Hringurinn er framleiddur úr 99,8% hágæða áloxíði (Al₂O₃) og þjónar sem fóðring hólfsins, fókushringur eða íhlutur í vinnslubúnaði til að loka plasma og vernda veggi hólfsins gegn rofi. Efnið býður upp á framúrskarandi plasmaþol, mikinn rafsegulstyrk (15×10⁶ V/m) og hitastöðugleika allt að 1600°C, sem tryggir langan endingartíma í árásargjarnu flúor-bundnu plasmaumhverfi. Nákvæm víddarvikmörk (±0,05 mm á innra/útra þrep) og flatleiki (≤10 μm) gera kleift að staðsetja brúnir skífunnar á samræmdan hátt, bæta einsleitni í útfellingu og draga úr agnamyndun.
-
Bernoulli keramik endaáhrifari — Snertilaus meðhöndlun á þunnum og brothættum skífum
Bernoulli keramik-endaáhrifafl St.Cera notar loftaflfræðilega lyftu til að meðhöndla skífur án snertingar. Það er framleitt úr hágæða 99,8% áloxíði (Al₂O₃) eða kísilkarbíði (SiC) og er með nákvæmnisvinnsluðum stútum sem dæla þrýstilofti út til að búa til þunna loftfilmu milli endaáhrifaflsins og skífunnar. Þessi snertilausa meginregla útilokar mengun á bakhlið, flísun á brúnum og yfirborðsskemmdir, sem gerir það tilvalið fyrir þunnar (≤100 μm), brothættar eða afmyndaðar skífur. Keramikundirlagið býður upp á mikinn sveigjanleika (361 MPa fyrir Al₂O₃; allt að 550–600 MPa fyrir SiC), lítinn massa og framúrskarandi víddarstöðugleika, sem tryggir endurtekna staðsetningu í hraðvirkum skífuflutningsvélmennum.
-
Háhreinar áloxíð keramikhlutar fyrir hálfleiðara og iðnaðarnotkun
St.Cera framleiðir nákvæmnisvinnsluða áloxíð (Al₂O₃) keramikhluta eftir forskriftum viðskiptavina. Þessir íhlutir eru úr 99,8% hreinu áloxíði og bjóða upp á framúrskarandi beygjustyrk (361 MPa), mikla hörku (16 GPa) og framúrskarandi rafsvörunarstyrk (15×10⁶ V/m). Efnið er hannað fyrir hálfleiðarabúnað, slitþolnar samsetningar, rafmagnseinangrara og háhitabúnað og býður upp á nær núll vatnsgleypni (0%) og varmaþenslustuðul upp á 7,2×10⁻⁶/℃, sem tryggir víddarstöðugleika við erfiðar aðstæður.
-
Porous keramik tómarúmsfesting fyrir meðhöndlun á aflagaðri skífu
Götótt keramikfjöður frá St.Cera er smíðaður úr hágæða áloxíði með jafnri opinni gegndræpi upp á 30–45% og gatastærð á bilinu 10 til 100 μm. Ólíkt hefðbundnum rifnum fjöðurum veitir gegndræpa yfirborðið dreift lofttæmi yfir alla bakhlið skífunnar og heldur á áhrifaríkan hátt aflögunum, þunnum eða einlitum skífum án þess að brúnirnar lyftist af eða brotni. Vægt lofttæmi (stillanlegt með þrengingarbúnaði) kemur einnig í veg fyrir merki á bakhliðinni.
-
Áloxíð-byggður porous keramik tómarúmsfesting fyrir meðhöndlun þunnra skífa
Götóttur spennubúnaður St.Cera, byggður á áloxíði, er smíðaður úr 99,6% hreinu Al₂O₃ með stýrðri opinni gegndræpi upp á 30–45% og jafnri gatastærð á bilinu 10 til 50 μm. Ólíkt rifnum spennubúnaði veitir gegndræpi yfirborðið dreift lofttæmi yfir alla bakhlið skífunnar, sem útilokar brúnir og gerir kleift að halda örþunnum (≤100 μm) eða afmynduðum skífum mjúklega. Efnið býður upp á sveigjanleika ≥250 MPa og hitastöðugleika allt að 400°C í lofti.
-
Dreifingarplata úr áli fyrir CVD/PVD sturtuhaus
Gasdreifiplata (sturtuhaus) St.Cera er nákvæmnisvinnsla úr 99,8% áloxíðkeramik með mikilli hreinleika. Hún er með röð örhola (0,3–1,5 mm í þvermál) sem tryggja jafnt gasflæði yfir yfirborð skífunnar við CVD, PVD eða ALD ferla. Mikill rafsvörunarstyrkur plötunnar (>15×10⁶ V/m) og plasmaviðnám gera hana nauðsynlega fyrir þunnfilmuútfellingu hálfleiðara.
-
Keramik stuðningspinna fyrir hálfleiðaraferli
Stuðningspinnar úr keramik frá St.Cera (einnig þekktir sem lyftipinnar eða stuðningspinnar) eru notaðir í hálfleiðaravinnsluklefum til að lyfta skífum eða undirlagi við meðhöndlun, hitun eða kælingu. Þessir pinnar eru framleiddir úr 99,8% áloxíði eða kísilnítríði og bjóða upp á mikinn þjöppunarstyrk, hitastöðugleika og efnaþol. Hálfkúlulaga eða flata oddin kemur í veg fyrir rispur á skífunum.
