Dreifingarplata úr áli fyrir CVD/PVD sturtuhaus
Gasdreifiplata (sturtuhaus) St.Cera er nákvæmnisvinnsla úr 99,8% áloxíðkeramik með mikilli hreinleika. Hún er með röð örhola (0,3–1,5 mm í þvermál) sem tryggja jafnt gasflæði yfir yfirborð skífunnar við CVD, PVD eða ALD ferla. Mikill rafsvörunarstyrkur plötunnar (>15×10⁶ V/m) og plasmaviðnám gera hana nauðsynlega fyrir þunnfilmuútfellingu hálfleiðara.
Upplýsingar:
| Eign | Gildi |
| Efni | 99,8% Al₂O₃ eða SiC |
| Þvermál | 100 – 1500 mm (hringlaga) eða rétthyrnd |
| Þykkt | 5 – 20 mm |
| Þvermál gats | 0,3 – 1,5 mm |
| Holumynstur | Sérsniðið (þríhyrningslaga, ferhyrnt, geislalaga) |
| Flatleiki | ≤10 μm yfir allt svæðið |
| Yfirborðsgrófleiki | Ra ≤0,6 μm (gashlið) |
| Hlutfall opins svæðis | 5–15% |
Umsóknir:
PECVD sturtuhausplötur
ALD gassprautur
Dreifingarplötur fyrir gas í etshólfi
Íhlutir MOCVD hvarfefnisins
Framleiðsla:
Áloxíð undirlag flatt yfirlappað → CNC borun með demantshúðuðum verkfærum (holustöðuþol ±0,02 mm) → afgrautun → ómskoðunarhreinsun → Umbúðir í flokki 100.
Gæðaeftirlit:
Hver plata er 100% skoðuð með tilliti til gatastærðar (sjónkerfi), flatleika (leysir-truflunarmælir) og einsleitni gasflæðis (þrýstingskortlagning). Engar örsprungur sjást undir 20x smásjá.
Kostir umfram málmplötur:
Engin málmmengun í þunnum filmum
Minni agnamyndun (engar tæringarflögur)
Þolir árásargjarn hreinsiefni úr plasma (CF₄, NF₃)
Sérsniðnir eiginleikar:
Gasrásir að aftan, gegnboraðar holur, brúnþéttingar og mismunandi efnisgerðir (SiC fyrir meiri varmaleiðni, Y₂O₃ húðun fyrir plasmaþol).
Við bjóðum upp á CAD sannprófun og flæðishermun fyrir framleiðslu.
