Keramik stuðningspinna fyrir hálfleiðaraferli
Stuðningspinnar úr keramik frá St.Cera (einnig þekktir sem lyftipinnar eða stuðningspinnar) eru notaðir í hálfleiðaravinnsluklefum til að lyfta skífum eða undirlagi við meðhöndlun, hitun eða kælingu. Þessir pinnar eru framleiddir úr 99,8% áloxíði eða kísilnítríði og bjóða upp á mikinn þjöppunarstyrk, hitastöðugleika og efnaþol. Hálfkúlulaga eða flata oddin kemur í veg fyrir rispur á skífunum.
Upplýsingar(Áloxíð 99,8%):
| Eign | Gildi |
| Efni | 99,8% Al₂O₃ eða Si₃N₄ |
| Lengd | 10 – 100 mm |
| Þvermál | 1 – 10 mm |
| Lögun ábendingar | Flatt, hálfkúlulaga, oddhvass |
| Þjöppunarstyrkur (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Hámarks rekstrarhiti (Al₂O₃) | 1600°C |
| Yfirborðsáferð | Lappað (Ra ≤0,4 μm) |
| Þol á þvermál | ±0,01 mm |
Umsóknir:
Lyftipinnar í CVD/PVD hólfum
Stuðningspinnar fyrir bakstur á heitum plötum
Stuðningsgrindur fyrir rannsakakort
Stuðningur við bát í kvarsofni
Framleiðsla:
Nákvæm miðjulaus slípun á ytri oddum → demantsslípun á oddisniði → ómskoðun → 100% víddarskoðun.
Gæðaeftirlit:
CMM fyrir lengd/þvermál, ljósfræðilegur samanburðarmælir fyrir oddiradíus, álagsprófun til að staðfesta þjöppunarstyrk (slembiúrtak úr hverri lotu). Engin járnsegulmengun (staðfest með segli).
Kostir umfram málm- eða kvarsnagla:
5 sinnum lengri endingartími en ryðfrítt stál
Engin málmmengun í vinnsluklefanum
Hærri hitastigsgeta en kvars (1600°C á móti 1100°C)
Yfirborð sem festist ekki við (minni viðloðun agna)
Sérstilling:
Margfeldi oddisnið, skrúfaður botn eða keilulaga skaft.
Við bjóðum einnig upp á SiC pinna fyrir öfgafullt plasmaumhverfi.
