Háhreinleiki áloxíð keramikþéttihringur fyrir háhitahólfþéttingu
Keramikþéttihringur frá St.Cera er hannaður sem valkostur við fjölliðu O-hringi í öfgafullu umhverfi þar sem teygjuefni brotna niður. Þessi stífi þéttihringur er framleiddur úr 99,8% hágæða áloxíði (Al₂O₃) og er notaður í kyrrstöðuþéttiforritum - venjulega paraður við mjúkan málm- eða grafítþéttingu - til að veita áreiðanlega lofttæmingu eða gasþéttingu við hitastig allt að 800°C og í árásargjarnu plasma- eða efnaumhverfi. Efnið býður upp á enga útgufun, mikinn þjöppunarstyrk (undirliggjandi beygjustyrkur 361 MPa) og efnafræðilega óvirkni (þolinn gegn halógenum, sýrum og basum nema HF). Nákvæmlega slípaðir þéttifletir (flatleiki ≤5 μm, yfirborðsgrófleiki Ra ≤0,2 μm) tryggja lekaþéttingu við samsvarandi málm- eða keramikhluta.
Upplýsingar(byggt á 99,8% ál₂O₃):
| Eign | Gildi |
| Efni | 99,8% áloxíð (fílabein) |
| Þéttleiki | 3,93 g/cm³ |
| Vatnsupptaka | 0% |
| Beygjustyrkur | 361 MPa |
| Þjöppunarstyrkur (áætlaður) | >2000 MPa |
| Vickers hörku | 16 GPa |
| Varmaþensla (25–1000°C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Hámarks rekstrarhitastig | 800°C (loft), 1600°C (óvirkt) |
| Yfirborðsáferð (þéttiflötur) | Ra ≤0,2 μm (sniðin) |
| Flatleiki (á hverja 25 mm) | ≤5 míkrómetrar |
| Lekahraði helíums | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (með viðeigandi þéttingu) |
Umsóknir:
- · Stöðugir þéttingar fyrir hálfleiðaraferlisklefa (CVD, PVD, ets)
- · Þéttiþéttingar fyrir ofnhurðir í háum hita
- · Lofttæmisflensar
- · Lokanir á efnahvarfakerfum
Framleiðsluferli:
Ísóstatísk pressun → sintrun við 1600°C → nákvæm tvíhliða yfirlappun til að ná fram afar flötum, sléttum þéttiflötum → afsniðin brún → ómskoðunarhreinsun. Hver hringur er 100% lekaprófaður með helíum lekagreini með venjulegri málmþéttingu.
Gæðaeftirlit:
- · Víddarprófun CMM (innri þvermál, ytri þvermál, þykkt, samsíða lögun)
- · Yfirborðsprófílmælir fyrir Ra og bylgjumyndun
- · Mæling á flatleika með ljósleiðara
- · Lekaprófun á helíum (bakþrýstingsaðferð)
Kostir umfram O-hringi úr pólýmeri:
- · Þolir 800°C á móti <300°C fyrir FFKM
- · Engin útgasun — engin mengun í lofttæmisumhverfi
- · Þolir allar plasmaefnasambönd (flúor, klór, súrefni)
- · Engin þjöppun eða varanleg aflögun
- · Ótakmarkaður endingartími í hreinu umhverfi
Takmarkanir (Gagnrýnin athugasemd):
- · Ekki O-hringur— þetta er stífur keramikhringur sem þarf mjúka þéttingu (kopar, ál eða grafít) til að þétta.
- · Þolir ekki kraftmikla hreyfingu eða stóra frávik í flansum.
- · Hærri upphafskostnaður en O-hringir úr pólýmeri, en lengri líftími lækkar eignarhaldskostnað.
- · Brothætt — meðhöndlið varlega; forðist högg eða beygju.
Athugið:Gögnin hér að ofan fylgja nákvæmlega meðfylgjandi töflu yfir eiginleika Al₂O₃. Engar upplýsingar um teygjanlegt efni voru gefnar upp. Þessi vara er kyrrstæður þéttihringur, ekki teygjanlegur O-hringur. Vinsamlegast staðfestið hvort þetta uppfyllir kröfur ykkar.
