Fókushringur úr hreinu áloxíði fyrir plasmaets- og CVD-kerfi

Fókushringur St.Cera í hólfinu er mikilvægur íhlutur í vinnslubúnaði sem notaður er í plasmaetsun, CVD og PVD hálfleiðarabúnaði. Hringurinn er framleiddur úr 99,8% hreinu áloxíði (Al₂O₃) og umlykur brún skífunnar til að halda plasma inni og hámarka jónadreifingu, sem bætir þannig etsunarjafnvægi yfir yfirborð skífunnar. Efnið býður upp á einstaka plasmaþol, mikinn rafsvörunarstyrk (15×10⁶ V/m) og hitastöðugleika allt að 1600°C, sem tryggir langtímaáreiðanleika í árásargjarnu flúor- eða klórbundnu plasmaumhverfi. Nákvæm slípun á innri og ytri þrýstingi og flatnæmi (≤10 μm) gerir kleift að staðsetja brúnir skífunnar nákvæmlega, draga úr brúnargöllum og agnamyndun.

Upplýsingar(byggt á 99,8% ál₂O₃):

Umsóknir:

• · Fókushringir í rafskauts-etsklefa (oxíð-, nítríð-ets)
• · Sílikon etshólf brúnhringir
• · Hringir í CVD kammervinnslubúnaði
• · PVD hólfhlíf og klemmuhringir

Framleiðsluferli:

Háhreint áloxíðduft er pressað með jafnþrýstingi → grænt unnið í nánast fullkomið form → sintrað við 1600°C → CNC demantslípun á innra þvermáli, ytra þvermáli og þykkt → yfirlappun til að ná flatnæmi ≤10 μm → ómskoðunarhreinsun → 100% CMM skoðun. Yfirborðsáferð Ra ≤0,4 μm lágmarkar viðloðun agna.

Gæðaeftirlit:

• · 100% víddarskoðun (innri þvermál, ytri þvermál, þykkt, samsíða lögun)
• · Litarefnisprófun fyrir örsprungur (sprungur eru ekki leyfðar)
• · Sjónræn skoðun undir 20× smásjá — engar flísar, holur eða mislitun
• · Rafþolsprófun samkvæmt ASTM D149 (sýnataka)

Kostir umfram sílikon- eða kvarshringi:

• · 5–10 sinnum lengri líftími í flúorkolefnisplasma
• · Engar neysluagnir sem geta mengað skífur
• · Meiri rafsegulstyrkur kemur í veg fyrir bogamyndun
• · Viðheldur flatleika og víddarnákvæmni í þúsundir RF klukkustunda

Annað efni — Yttría-stöðugt sirkon (ZrO₂):

Fyrir notkun sem krefst meiri brotþols (t.d. hólf með tíðum hitabreytingum eða vélrænum höggum) eru ZrO₂ fókushringir (þéttleiki 6,03 g/cm³, beygjustyrkur 1000 MPa, brotþol 5–8 MPa·m¹/²) fáanlegir. Hins vegar býður áloxíð upp á betri hagkvæmni og er iðnaðarstaðallinn fyrir flestar fókushringi.

Sérstilling:

• · Þrepaprófílar, mótgöt eða festingargöt samkvæmt teikningu viðskiptavinar
• · Y₂O₃ húðun fyrir aukna mótstöðu gegn plasmarof (þykkt 20–100 μm)
• · Leysimerking á hlutarnúmeri, dagsetningarkóða eða röðunarmerkjum

Athugið:Allar upplýsingar fylgja nákvæmlega meðfylgjandi töflu um eiginleika Al₂O₃. Fyrir upplýsingar um ZrO₂, vísað er til meðfylgjandi gagnablaðs um sirkon. Hönnun á fókushringjum gæti þurft einkaleyfisleyfi — viðskiptavinir bera ábyrgð á að staðfesta hugverkaréttindi.