-
Áloxíð hágæða keramikhringir úr keramikhlutum
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
ST.CERA Sérsniðnir hálfleiðarabúnaðar keramikfjöður
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
Kísilkarbíð (SiC) keramik endaáhrif - Mikil stífleiki fyrir meðhöndlun á háhitaskífum
SiC keramik endaflöturinn frá St.Cera er framleiddur úr hágæða kísilkarbíði (SiC innihald 99,72%, frítt Si 0,05%) með því að nota S1111 framleiðsluefnið. Hann býður upp á einstaka vélræna eiginleika: beygjustyrk 449 MPa (mælt), teygjustuðul 457 GPa (mælt) og Vickers hörku 25–28 GPa (dæmigert). Lágur eðlisþyngd (3,10–3,15 g/cm³, dæmigert) veitir mikla sértæka stífleika, tilvalið fyrir hraðvirka skífuflutningsvélmenni. Með varmaleiðni upp á 120–150 W/m·K (dæmigert) og varmaþenslustuðul upp á 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (dæmigert) dreifir þessi endaflötur hita á áhrifaríkan hátt og viðheldur víddarstöðugleika við meðhöndlun við hátt hitastig (allt að 1600–1700°C, án álags). Svartur/grár litur og engin vatnsupptaka tryggja eindrægni í hreinrýmum.
-
Tómarúmsspennubúnaður úr kísilkarbíði (SiC) fyrir háhita- og plasmaumhverfi
Keramikspennan frá St.Cera, sem er byggð á SiC, er framleidd úr hágæða kísilkarbíði (lota S1111, SiC 99,72%, frítt Si 0,05%). Hún býður upp á mældan beygjustyrk upp á 449 MPa, brotþol upp á 3,12 MPa·m¹/² og teygjustuðul upp á 457 GPa. Dæmigerð varmaleiðni efnisins (120–150 W/m·K) og lítil varmaþensla (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) gerir kleift að hækka hitastig hratt og lágmarka aflögun skífna við hitahringrás. Hægt er að stilla spennuna sem porous lofttæmisspennu (jafnt gasflæði) eða rifnaða staðlaða spennu. Með hámarksnotkunarhita upp á 1600–1700°C (án álags) og einstaka mótstöðu gegn plasmaeyðingu, er þessi spenna tilvalin fyrir háhitavinnslu á skífum (glæðingu, RTP) og árásargjarn etsklefa þar sem áloxíðspennur brotna niður.
-
Varahlutir fyrir hálfleiðarabúnað úr keramik, keramikflutningsaðilar
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
Málmbakaður áloxíð keramik malahringur fyrir notkun með mikilli stífni
Áloxíðslímhringurinn frá St.Cera, sem er byggður á málmi, sameinar slitlag úr keramik með mikilli hreinleika áloxíðs (99,8% Al₂O₃) og nákvæmt vélunnið málmbakgrunn (venjulega úr áli eða ryðfríu stáli). Þessi blendingahönnun veitir einstaka slitþol og efnafræðilega óvirkni keramiksins á slípiflötinum, en málmgrunnurinn bætir við vélrænum styrk, auðveldar uppsetningu og mótstöðu gegn brothættum brotum. Áloxíðlagið býður upp á sveigjanleika upp á 361 MPa, Vickers hörku upp á 16 GPa og hitastöðugleika allt að 800°C. Málmgrunnurinn er sérsniðinn með festingargötum, staðsetningarpinnum eða segulmögnun til samþættingar í slípivélar, reikistjörnuslípvélar og CMP búnað.
-
Varahlutir úr keramik fyrir hálfleiðaraprófunarstöðvar
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
Sérsniðin vinnsla á Al2O3 keramikskífu
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
ST.CERA sérsniðin hálfleiðara búnaðar keramikplata
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
12 tommu áloxíð tómarúmsfesting fyrir 300 mm skífuvinnslu
12 tommu lofttæmisspennan frá St.Cera er nákvæmlega smíðuð úr 99,8% hágæða áloxíði (Al₂O₃) fyrir meðhöndlun á 300 mm skífum. Spennan er með fíngrófu yfirborði (grófabreidd 0,5–1,0 mm, stig 2–3 mm) til að tryggja jafna lofttæmisdreifingu yfir allt 300 mm þvermálið. Flatleiki er viðhaldið innan 5 μm, sem gerir kleift að festa skífurnar án aflögunar við teningaskurð, slípun á bakhlið og skoðun. Mikill beygjustyrkur efnisins (361 MPa) og hörku (16 GPa) tryggja langtíma víddarstöðugleika, jafnvel við endurteknar lofttæmislotur.
-
Áloxíð keramik endaáhrif með innbyggðum lofttæmisrásum
Lofttæmisendaflötur St.Cera úr álúroxíði samþættir nákvæmnisframleiddar lofttæmisrásir og sogop beint í 99,8% hreina álúroxíðið. Þessi hönnun útilokar ytri lofttæmispúða, sem gerir kleift að taka upp skífur beint með jöfnum haldkrafti. Mikill beygjustyrkur efnisins (361 MPa) og hörku (16 GPa) tryggja langtíma víddarstöðugleika við endurteknar lofttæmishringrásir. Flatleiki yfir púðasvæðið helst innan 10 μm, sem kemur í veg fyrir álag og brot á skífum. Lofttæmisgöt eru staðsett á aftari festingarflansanum til að auðvelda samþættingu við OEM vélmenni.
-
ESD-öruggir áloxíð keramikhlutar fyrir meðhöndlun á stöðurafmagnsnæmum skífum
ESD-öruggir áloxíðkeramikhlutar St.Cera eru framleiddir úr 99,8% hreinum Al₂O₃ með sérsniðinni yfirborðsviðnámi upp á 10⁶–10⁹ Ω/fermetra, sem náðst hefur með sérhönnuðu íblöndunar- eða húðunarferli. Þessir hlutar dreifa stöðurafmagni á áhrifaríkan hátt og koma í veg fyrir skemmdir á viðkvæmum hálfleiðurum og tækjum vegna rafstöðuorku. Grunnefnið heldur miklum beygjustyrk (361 MPa), hörku (16 GPa) og rafsvörunarstyrk (15×10⁶ V/m). ESD-öruggir keramikhlutar innihalda endaáhrifa, lyftipinna, leiðarar og sérsniðnar festingar fyrir sjálfvirkni í framleiðslueiningum.
