Bernoulli keramik endaáhrifari — Snertilaus meðhöndlun á þunnum og brothættum skífum

Bernoulli keramik-endaáhrifafl St.Cera notar loftaflfræðilega lyftu til að meðhöndla skífur án snertingar. Það er framleitt úr hágæða 99,8% áloxíði (Al₂O₃) eða kísilkarbíði (SiC) og er með nákvæmnisvinnsluðum stútum sem dæla þrýstilofti út til að búa til þunna loftfilmu milli endaáhrifaflsins og skífunnar. Þessi snertilausa meginregla útilokar mengun á bakhlið, flísun á brúnum og yfirborðsskemmdir, sem gerir það tilvalið fyrir þunnar (≤100 μm), brothættar eða afmyndaðar skífur. Keramikundirlagið býður upp á mikinn sveigjanleika (361 MPa fyrir Al₂O₃; allt að 550–600 MPa fyrir SiC), lítinn massa og framúrskarandi víddarstöðugleika, sem tryggir endurtekna staðsetningu í hraðvirkum skífuflutningsvélmennum.

Athugasemd um efni:Áloxíð (Al₂O₃) er mest notaða efnið fyrir keramikendaáhrifara í meðhöndlun hálfleiðaraþráða vegna framúrskarandi samsetningar hörku, rafmagnseinangrunar, efnafræðilegs stöðugleika og hagkvæmni. Kísilkarbíð (SiC) býður upp á meiri varmaleiðni, meiri hörku og enn betri slitþol fyrir krefjandi notkun. Þó að yttría-stöðugt sirkonoxíð (ZrO₂) bjóði upp á mikla brotþol við stofuhita, er það sjaldgæfara notað í þessari notkun vegna hærri eðlisþyngdar og mismunandi varmaþenslueiginleika; það má íhuga í sérstökum aðstæðum þar sem óvenjuleg brotþol er krafist. Vinsamlegast hafið samband við tækniteymi okkar til að fá leiðbeiningar um efnisval.

Upplýsingar(byggt á 99,8% ál₂O₃):

Rekstrarregla:

Þjappað loft eða köfnunarefni (0,2–0,6 MPa) er flutt inn um innri rásir og út um nákvæmar stúta. Hraðað loftstreymi skapar lágþrýstingssvæði fyrir ofan endaáhrifarann ​​(Bernoulli-áhrif), sem myndar lyftikraft sem styður skífuna í 50–200 μm bili. Engin lofttæmisgöt eða púðar snerta bakhlið skífunnar.

Umsóknir:

• · Meðhöndlun á þunnum skífum (≤50 μm) eftir slípun á bakhliðinni
• · Flutningur á aflagaðri skífu (t.d. eftir CVD eða glæðingu)
• · Flutningur á safírundirlagi sólarsellu og LED-ljósa
• · Sjálfvirkni í hreinum rýmum sem krefst núll agnamyndunar
• · Meðhöndlun glerplata í framleiðslu skjáa

Framleiðsluferli:

Keramik undirlag sintrað úr hágæða dufti → 5-ása CNC vinnsla á gasrásum og stútgötum (þvermál 0,3–1,0 mm, vikmörk ±0,01 mm) → yfirborðsmeðhöndlun að Ra ≤0,4 μm → ómskoðunarhreinsun → helíum lekaprófun (gasrásir). Engin húðun nauðsynleg — bert keramik yfirborð er efnafræðilega óvirkt og mengunarlaust.

Gæðaeftirlit:

• · 100% víddarskoðun (CMM) á stútstöðu, armlengd og flatnæmi
• · Prófun á einsleitni loftflæðis: þrýstingsfall ≤5% yfir alla stúta
• · Lekapróf: gasrásir innsiglaðar við 0,6 MPa, ekkert þrýstingsfall yfir 30 sekúndur
• · Sjónræn skoðun undir 20× smásjá til að leita að örsprungum eða sprungum

AKostir umfram hefðbundna snertifleti:

• · Engin mengun á bakhlið skífunnar — engin vélræn snerting
• · Engin brúnaflögnun eða brot á þunnum skífum
• · Tekur á við aflagaðar skífur (allt að 1 mm boga) með stöðugu bili
• · Útrýmir viðhaldi á lofttæmisraforða og porous chuck
• · Keramikbyggingin er slitþolin og þolir efnaárásir

Sérstilling:

• · Fáanlegt fyrir 200 mm, 300 mm eða sérsniðnar stærðir af skífum
• · Gasstútamynstur: bein, hornrétt eða hvirfilbylgja
• · Efni: áloxíð (staðlað) eða kísillkarbíð (fyrir bestu varmaleiðni og slitþol)
• · Armlengd, festingarflans og staðsetning gasops samkvæmt teikningu frá framleiðanda

Takmarkanir:

Útfærsla Bernoulli-meginreglunnar (stútahönnun, loftbil) fellur utan gildissviðs taflna um efniseiginleika sem gefnar eru. Vélrænu og varmafræðilegu eiginleikarnir hér að ofan fylgja stranglega meðfylgjandi gagnablöðum fyrir 99,8% Al₂O₃. Ekki er búist við neinum skerðingum á afköstum keramiksins við þrýstingsgasflæði miðað við þessa efniseiginleika. Fyrir skífur sem eru viðkvæmar fyrir gasflæði (t.d. MEMS með brothættum byggingum) ætti að aðlaga gasþrýsting og stútahönnun í samræmi við það.