Kísilkarbíð (SiC) keramik endaáhrif - Mikil stífleiki fyrir meðhöndlun á háhitaskífum
SiC keramik endaflöturinn frá St.Cera er framleiddur úr hágæða kísilkarbíði (SiC innihald 99,72%, frítt Si 0,05%) með því að nota S1111 framleiðsluefnið. Hann býður upp á einstaka vélræna eiginleika: beygjustyrk 449 MPa (mælt), teygjustuðul 457 GPa (mælt) og Vickers hörku 25–28 GPa (dæmigert). Lágur eðlisþyngd (3,10–3,15 g/cm³, dæmigert) veitir mikla sértæka stífleika, tilvalið fyrir hraðvirka skífuflutningsvélmenni. Með varmaleiðni upp á 120–150 W/m·K (dæmigert) og varmaþenslustuðul upp á 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (dæmigert) dreifir þessi endaflötur hita á áhrifaríkan hátt og viðheldur víddarstöðugleika við meðhöndlun við hátt hitastig (allt að 1600–1700°C, án álags). Svartur/grár litur og engin vatnsupptaka tryggja eindrægni í hreinrýmum.
Upplýsingar(byggt á meðfylgjandi SiC S1111 prófunarskýrslu og dæmigerðum gildum)):
| Eign | Gildi |
| Efni | SiC (99,72% SiC, 0,05% frítt Si) |
| Litur | Svart/grátt |
| Þéttleiki | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Vatnsupptaka | 0% |
| Beygjustyrkur | 449 MPa (meðaltal) |
| Brotþol | 3,12 MPa·m¹/² (meðaltal) |
| Teygjanleikastuðull | 457 GPa |
| Vickers hörku | 25–28 GPa |
| Varmaleiðni (25°C) | 120–150 W/m²K |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ |
| Hámarksnotkunarhiti (án álags) | 1600–1700°C |
Umsóknir:
● Meðhöndlun á skífum við háan hita (eftir glæðingu, RTP, epitaxía)
● Plasmaetsklefar sem krefjast mikillar rofþols
● Hraðflutningsrobotar (léttir, mjög stífir)
Framleiðsla:
Sintrun SiC dufts → nákvæm CNC slípun á armsniði og festingareiginleikum → yfirborðslípun → ómskoðun. 100% víddarskoðun og helíumlekaprófun fyrir lofttæmisforrit.
Gæðaeftirlit:
● CMM skoðun á lengd, breidd og flatneskju
● Sveigjanleikaprófun á hverri lotu (samkvæmt staðli prófunarskýrslu)
● Sjónræn skoðun undir smásjá til að finna galla á yfirborði
Kostir umfram áloxíð eða málm:
● Tvöfalt hærri teygjustuðull (457 á móti ~380 GPa fyrir áloxíð) – minni sveigja
● 3x meiri varmaleiðni – hraðari varmaleiðsla
● Þolir >1600°C samanborið við 800°C áloxíðs í lofti
● Lægri eðlisþyngd en stál – 40% þyngdarlækkun
Sérstilling:
Lengdir 150–450 mm, lögun oddi (brúngrip, Bernoulli, flatur), mynstur festingarflansa samkvæmt teikningu frá framleiðanda.
*Allar vélrænar upplýsingar hér að ofan koma úr meðfylgjandi prófunarskýrslu (lota S1111). Hitastig og hörkugildi eru dæmigerð fyrir þessa SiC gerð; vinsamlegast hafið samband við okkur til að fá vottun fyrir hverja lotu.*
