12 tommu áloxíð tómarúmsfesting fyrir 300 mm skífuvinnslu
12 tommu lofttæmisspennan frá St.Cera er nákvæmlega smíðuð úr 99,8% hágæða áloxíði (Al₂O₃) fyrir meðhöndlun á 300 mm skífum. Spennan er með fíngrófu yfirborði (grófabreidd 0,5–1,0 mm, stig 2–3 mm) til að tryggja jafna lofttæmisdreifingu yfir allt 300 mm þvermálið. Flatleiki er viðhaldið innan 5 μm, sem gerir kleift að festa skífurnar án aflögunar við teningaskurð, slípun á bakhlið og skoðun. Mikill beygjustyrkur efnisins (361 MPa) og hörku (16 GPa) tryggja langtíma víddarstöðugleika, jafnvel við endurteknar lofttæmislotur.
Upplýsingar (byggt á 99,8% Al₂O₃):
| Eign | Gildi |
| Þvermál | 300 mm (12 tommur) |
| Efni | 99,8% áloxíð (fílabein) |
| Þéttleiki | 3,93 g/cm³ |
| Beygjustyrkur | 361 MPa |
| Vickers hörku | 16 GPa |
| Flatleiki (yfir 300 mm) | ≤5 míkrómetrar |
| Grópbreidd | 0,5–1,0 mm |
| Hámarks rekstrarhiti | 800°C |
| Rafmagnsstyrkur | 15×10⁶ V/m |
Umsóknir:
300 mm skífuskurður og skrift
Slípun á bakhlið skífu (stuðningur við þunna skífu)
Sjónræn skoðun og könnun
Tímabundnar límingar-/losunarklemmar
Framleiðsla:
CNC-slípað og lípað þar til það er endanlegt, rifið með demantshjólum, hreinsað með ómskoðun og pakkað í hreinsherbergi af 100. Hver spennuhylki er 100% skoðaður með tilliti til flatneskju (leysir-truflunarmælir) og rifdýptar (profilometer).
Kostir:
Lítil agnamyndun (≤0,05 agnir/cm²)
Efnafræðilega óvirkt fyrir leysiefni og sýrur
ESD-öruggt yfirborð (viðnám >10¹³ Ω·cm)
Sérsniðin mynstur fyrir lofttæmisgöt og aftari tengi í boði.
