Staðlað lofttæmisspennubúnaður úr áli – Mikil stífleiki fyrir nákvæma vinnslu
Þessi lofttæmisspennubúnaður, sem er byggður á álúoxíði, er framleiddur úr 99,8% Al₂O₃ og býður upp á slétt, óholótt yfirborð með sérsniðnum lofttæmisrásamynstrum. Hann býður upp á einstakan stífleika (Young's modulus 380 GPa) og flatneskju (≤3 μm), sem gerir hann tilvalinn fyrir nákvæma slípun, lappun og teningaskurð á hálfleiðaraskífum og ljósleiðaraíhlutum. Mikil varmaleiðni efnisins (32 W/m·k) tryggir jafnan hita við vinnslu.
Upplýsingar(byggt á 99,8% ál₂O₃):
| Eign | Gildi |
| Efni | 99,8% áloxíð (fílabein) |
| Þéttleiki | 3,93 g/cm³ |
| Beygjustyrkur | 361 MPa |
| Vickers hörku | 16 GPa |
| Youngs stuðull | 380 GPa |
| Varmaleiðni | 32 W/m·k |
| Flatleiki | ≤3 μm (yfir 200 mm) |
| Yfirborðsgrófleiki (chuck hlið) | Ra ≤0,4 μm |
| Hámarks rekstrarhiti | 800°C |
Umsóknir:
- · Kvörnun á bakhlið skífunnar (gróf og fín)
- · Nákvæmni í teningaskurði á brothættum efnum
- · Lappun á keramik undirlögum
- · Pólun á sjónglerjum
Framleiðsla:
Nákvæm yfirlappun beggja hliða → demantsgróp (valfrjálst) → brúnafrámun → ómskoðun → 100% flatneskaskoðun með leysigeisla-truflunarmæli.
AKostir:
- · Stífur stuðningur lágmarkar sveigju undir álagi
- · Engin agnamyndun frá porous uppbyggingu
- · Auðvelt að þrífa (samhæft við leysiefni og þurrkur)
- · Sérsniðnar tómarúmsrif (sammiðja, geislalaga, sérsniðin mynstur)
Fáanlegar stærðir:
Hringlaga: 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm; ferkantað/rétthyrnt ef óskað er.
Við bjóðum einnig upp á málmbundnar útgáfur fyrir meiri vélrænan styrk.











