Málmbakaður porous SiC tómarúmsspennari fyrir meðhöndlun á aflagaðri og þunnri skífu

Málmbundið keramik lofttæmisspennubúnaður frá St.Cera sameinar gegndræpt kísilkarbíð (SiC) keramiklag með nákvæmnisvinnsluðum málmgrunni (ál eða ryðfríu stáli). Gagndræpa SiC efnið (blásvart, gegndræpi 35–40%, gatastærð 20–30 μm, gegndræpi 60 ml/cm²·mín) veitir jafna og mjúka lofttæmisdreifingu yfir allt yfirborð skífunnar, útrýma brúnamerkingum og gerir kleift að styðja þunnar (≤100 μm) eða aflagaðar skífur án snertingar. SiC lagið býður upp á litla hitaþenslu (3,5×10⁻⁶/℃), hitastöðugleika allt að 1000°C og miðlungs sveigjanleika (32–35 MPa). Málmgrunnurinn bætir við stífleika í burðarvirkinu, auðveldar festingar í gegnum skrúfgöt og vörn gegn brothættum brotum. Þessi spennubúnaður er tilvalinn fyrir bakhliðarslípun, teningaskurð og háhitavinnslu á skífum þar sem jafnt lofttæmi og hitasamrýmanleiki er mikilvægur.

Upplýsingar (byggt á gögnum um porous SiC sem gefnar voru):

Athugið: Beygjustyrkur er lægri en þéttur SiC vegna gegndræpis. Eiginleikar málmgrunnsins eru ekki frá keramikborðum.

Umsóknir:

• · Bakhliðarslípun á þunnum skífum (≤100 μm)
• · Skekktur skífufesting fyrir teningaskurð
• · Háhitastigs hleðslu á skífum (allt að 1000°C)
• · Lofttæmisfesting fyrir gegndræp eða brothætt undirlag

Framleiðsla:

Götótt SiC plata (mótuð með gatamyndurum, sintruð) → yfirlappuð þar til hún er ≤10 μm → málmgrunnur vélrænn með lofttæmisgötum og festingareiginleikum → epoxy-líming eða vélræn klemma → helíumlekapróf.

Gæðaeftirlit:

• · Götnun og porastærð staðfest með rafeindasmásjá
• · Gegndræpispróf (loftflæði)
• · Flatleiki mældur með leysigeislamæli
• · Lekahraði helíums <1×10⁻⁹ Pa·m³/s

Kostir umfram rifna eða þétta keramikfjötra:

• · Engin merki um skífur – jafnt lofttæmi án stakra gata
• · Sjálfhreinsandi svitaholur – minni stíflur
• · Tekur á við aflagaðar skífur (allt að 500 μm boga)
• · Málmgrunnur kemur í veg fyrir brothætt brot og einfaldar samþættingu

Takmarkanir:

• · Lægri beygjustyrkur (32–35 MPa) – forðast höggálag
• · Rekstrarhitastig takmarkast við 1000°C (porous SiC), en epoxy-tengiefni á málmgrunni takmarkast við ≤200°C nema það sé vélrænt klemmt.
• · Ekki ætlað fyrir háþrýstingslofttæmi (götótt uppbygging takmarkar hámarks lofttæmismun)

Sérstilling:

• · Málmgrunnur: ál (létt), ryðfrítt stál (tæringarþolið), Invar (lítil útþensla)
• · Líming: epoxy (≤200°C) eða vélræn klemma (allt að 500°C)
• · Þéttihringur á brún fyrir lofttæmisstýringu á svæðinu

Athugið: Beygjustyrkurinn (32–35 MPa) er marktækt lægri en í þéttum keramik vegna gegndræpis. Farið varlega til að koma í veg fyrir að brúnirnar flísist úr.