Áloxíð PVD einangrunarhringur fyrir gufuútfellingarkerfi
PVD einangrunarhringur St.Cera er framleiddur úr 99,8% hágæða áloxíði (Al₂O₃) til notkunar í PVD-kerfum (e. physical gufuútfellingar). Hringurinn veitir rafmagnseinangrun milli íhluta hólfsins, kemur í veg fyrir bogamyndun og tryggir stöðuga plasmavirkni. Helstu eiginleikar eru meðal annars mikill rafsegulstyrkur (15×10⁶ V/m), sértæk viðnám >10¹⁴ Ω·mm²/m og hitastöðugleiki allt að 1600°C. Nákvæmnivinnslugeta okkar nær ytri þvermál allt að 600 mm, innri þvermál niður í 0,2 mm, flatneskju upp á 0,003 mm og yfirborðsáferð Ra0,1. Núll gegndræpi hringsins og efnaóvirkni tryggja langtímaáreiðanleika í árásargjarnum spúttunarumhverfum.
Upplýsingar (byggt á 99,8% Al₂O₃& Framleiðslugeta St.Cera):
| Eign | Gildi |
| Efni | 99,8% áloxíð (fílabein) |
| Þéttleiki | 3,93 g/cm³ |
| Beygjustyrkur | 361 MPa |
| Vickers hörku | 16 GPa |
| Rafmagnsstyrkur | 15×10⁶ V/m |
| Sértæk viðnám | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Hámarks ytri þvermál | 600 mm |
| Lágmarks innri þvermál | 0,2 mm |
| Hámarksþykkt | 100mm |
| Flatleiki | 0,003 mm |
| Samsíða | 0,002 mm |
| Yfirborðsáferð | Ra0,1 |
| Hámarks rekstrarhiti | 1600°C |
Umsóknir:
- · Markmið einangrara á bakplötum í PVD kerfum
- · Einangrarar í gegnumgangi hólfsins
- · Skjöldhringeinangrarar í spúttunarkerfum
- · Háspennueinangrun í plasmaklefum
Framleiðslunákvæmni:
Sammiðja: 0,01 mm, kringlótt: 0,002 mm, beinn lína: 0,005 mm, hornrétt lína: 0,005 mm, staðfest með CMM.
AKostir umfram einangrunarefni úr fjölliðum:
- · Þolir 1600°C samanborið við <300°C mörk fjölliðunnar
- · Engin útgasun – viðheldur lofttæmisheilleika
- · Standast plasmaeyðingu og efnaárás
Sérstilling:
Sérsniðnar þversnið, festingareiginleikar, þrepaprófílar og margar sammiðja hringhönnanir í boði.
